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东莞电子厂无尘车间的构造形式有哪几种

时间:2017-11-30 15:01来源:未知 作者:admin 点击:
实用洁净室主要是根据工艺特别点进行布置,在满足使用要求的前提下求得经济合理,已有典型的构造形式如下: 1、开放式 大面积的单向流洁净室。常用于工艺过程对各洁净区要求的
       实用洁净室主要是根据工艺特别点进行布置,在满足使用要求的前提下求得经济合理,已有典型的构造形式如下:
    1、开放式
     大面积的单向流洁净室。常用于工艺过程对各洁净区要求的洁净度等差别不大的,其特点是:
     a、优点:灵活性好,便于调整和变更;设计简单;空气处理系统单一。
     b、缺点:高运行费用;对大面积的单向流,其回风通道所占面积/空间大;防火分隔受限止,安全性差。
     2、套间式
     各洁净区按工艺的工序及洁净度要求进行分隔及连通,并进行各区间的压差控制,多用于制药工业及手术部,亦常把此归入开放式内。
     3、隧道式
     是IC工厂洁净室在80年代末90年代初常较多采用的一种形式,是以“线”保护替代“面”保护的典型代表。它有二种基本形式;一是把各有关工艺设备的关健加工部位(即加工物暴露于周围空气中的部位)与设备的服务部位加以物理分隔,一般各设备的关健加工部位都面对布置,置于单向流洁净区(洁净隧道内),而设备的服务部位置于要求不严的非单向流洁净区内,以实现减少单向流洁净区的面积;另一种形式是把各工艺设备的关健加工部位置于非单向流洁净隧道的罩流层下,其它都同前。
    其特点是:
    a、优点:把单向流洁净区限制到最小:减少循环风量节省运行费用;洁净隧道的回风可回至设备服务区,此区可作为回风道向上回风;防火分隔简单,运行安全。
    b、缺点:设计时需要仔细,较麻烦;灵活性差。
    4、微环境、隔离装置+开放式洁净室
    这种形式当前在制药工业已采用较普遍,据报导投资可节省10-15%,运行费用可望节约40-50%。在IC工厂采用这种形式与其它形式就洁净室设施的投资及运行费用而言,肯定是经济的,但带来微环境的工艺设备以及其动传送系统等投资 的增加等,其综合经济效果如何,存在着不同看法,如亚洲、欧洲采用得较多,而美国则很少采用。但#300圆片加工,线宽越来越小,对粒子的控制要求更业,对AMC亦要求进行控制,今后采用微环境已成定局。
    另外,由于洁净室洁净度要求的降低,随之带来的洁净服系统等要求降低而节省购买费及清洗等费用亦是可观的。
    5、模块式洁净室
    模块式洁净室近10年来发展亦快,随着FFU的发展,对模块洁净室灵活方便性更加体现。一般一天可以安装完成。
    模块式洁净室一般适宜于空调参数与所处背景环境基本一致的场合,它的墙、天花等都不用另名保温材料,目前情况是:满足洁净度等级ISO4级及洁净室形式的变化都是伴随工艺发展和变化出现的,以上各种形式,各适用于一定的条及要求。以IC工厂的洁净隧道与开放式洁净室为例,在某些规模及要求下,开放式的亦还有采用的。
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