无尘室是应用于电子、微电子等相关制造工艺的一种受控环境,它对环境中的温湿度、洁净度、室内压力、风速、照度等均有一定的要求,因此洁净度管控对无尘室性能的影响至关重要。若要控制无尘室的洁净度,找到影响无尘室内洁净度的因素非常关键。根据许多行业人士的细心分析,总结了下面一些影响因素:
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1、无尘室内的作业人员要严格按照无尘室的操作规则来工作。无尘室的门窗应是随时处于关闭状态的,无尘室与非无尘室之间人员和物品的传递应有缓冲区,并有风浴设备来阻止气流的对流,与生产无关的人员不行进入无尘室。
2、无尘室的换气次数和空调净化系统的送风量是维持无尘室正压和洁净度的主要内因,但是它受净化系统中各级过滤器的终阻力的制约。
3、无尘室内的设备要求定期、定时、定人进行清洁维护,清洁中所用的物料和清洁液体是否符合洁净室管理的规定等。
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4、对使用者来讲无尘室的洁净度是他们最关心的焦点,运行中的无尘室最大的污染源是人和进入无尘室的物品,生产中产生的尘粒也是影响室内洁净度的另一原因。
5、人流和物流的合理分流对维护风淋房内的洁净度有着重要的意义。人在进无尘室前是否更衣吹淋,着装是否符合洁净管理规范的标准,一些生产工艺特殊的对洁净度要求高的人员在进入前还要进行洗浴;物在进无尘室前是否更换包装吹淋,更换后的物料是否符合洁净室标准等等。
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