让工程低耗运行
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十级的无尘车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业，采用FFU满布，利用超高效空气过滤器，地板用高架地板制作。
三十万级无尘车间是指将一定空间范围内的空气中的微粒子、有害空气、有害菌群等污染物排除。
十万级无尘车间是指将一定空间范围内的空气中的微粒子、有害空气、有害菌群等污染物排除。
万级无尘车间是指将一定空间范围内的空气中的微粒子、有害空气、有害菌群等污染物排除。
千级无尘车间是指将一定空间范围内的空气中的微粒子、有害空气、有害菌群等污染物排除，
百级无尘车间主要是根据车间的埃尘粒子来决定的，大于等于0.5μm的尘粒数大于350粒/m3（0.35粒/L）到小于等于3500粒/m3（3.5粒/L）；大于等于5μm的尘粒数为0。
