无尘净化车间内用品除了进出无尘车间用的洁净衣、鞋、头罩、帽、手套、口罩外,还有如纸张文具、桌子、椅子、芯片盒、搬运车、笔记本、告示板及垃圾箱、吸尘器、物料等。人员、物料及设备进出涂布无尘净化车间必须经过洁净程序,方不至于影响无尘车间之洁净度。
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工作人员于其无尘净化车间室内清洁设备或物料时必须穿着洁净衣服,所使用之擦拭纸为无尘纸或不会脱落织毛之无尘布,清洁剂除了使用超纯水之外,并加入 3~5%浓度的 IPA 或丙酮化学品,以增强去污能力,由于 IPA 及丙酮具挥发性,故此房间之排气效果须特别考虑。
洁净衣的材料以洗后或使用其它处理后仍不会发尘者为基本条件,且其布料为不易燃烧、不起毛,其织法或布料之组织不易通过污染物和不附着污染物之材质,另外经过磨擦不产生静电或带电性非常小,洗涤再生容易、不易皱、着衣感舒适等亦为选用考虑因素。
头罩材质为无尘纸或无纺布制成,帽子材质则与洁净衣相同,二者在穿戴使用时,除了只露出眼睛和脸表面部分外,其它部分均需包覆,在头部部分连接上衣处也必须全盖住,不能留有空隙,头发亦不能露出来。无尘车间用鞋要合脚且穿起来舒适为基本条件。
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