近年来我国电子信息、生物医药、卫生、精细仪器、化工、食品等行业的持续增长,洁净室工程行业正迎来一个新的发展期,市场需求规模不断扩大,前景也越来越广阔。特别是新版GMP-2010的发布和实施,推动生物医药制造和食品饮料、电子芯片行业的洁净室需求,同时电子芯片受控环境的需求,带动整个洁净室工程行业市场规模的扩大,行业的景气将会因市场对洁净室需求的旺盛得到较长时间的维持。“精神之源,代代相传,严于律己,坚守党员本质”
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我国防静电超净技术产品的市场规模的持续扩大,为各行各业企业提供了巨大的发展机遇。而洁净室工程就是一个为环境灵敏的物质与产品打造工艺制造环境,主要用于提高成品率与产量。经过几十年的发展,洁净室工程中认识并加以控制空气颗粒的过滤技术,已是一门成熟的科学技术,并能够灵活的被应用在每个微小环境中。而一些微小的化学挥发性气体往往会被忽略,但实际它们对很多加工工艺处理过程有害,特别是在电子电路工业。因此为了能够提供一个更洁净的生产环境,近年来洁净室工程中传播AMC(空气分子污染物)也逐渐被认识并加以重视。
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AMC对当前的洁净室工程电子芯片生产其潜在的污染,比粒子污染要广泛多,粒子污染控制只需要确定粒径及个数,但对 AMC 控制而言,除了受芯片线宽的缩小而变化外,并受工艺、工艺设备、工艺材料及传送系统等的影响;更有甚者用于某一工序的各种工艺材料(化学品、特种气体等)在很多情况下其微量的分子残余,对下一工序往往可能就是污染物。因此,电子芯片生产过程中的某些加工工序及工序间的材料传送和存放环境中,AMC 已成为严重影响成品率的重要问题,AMC 分子控制技术成为洁净室工程设计与施工建设的主流趋势。
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