无尘净化工程洁净室是悬浮粒子浓度受控洁净的房间、厂房,是进入、产生、滞留于室内的粒子特别少,而且室内其他参数,如温度、湿度、压差等按产品生产的需要受控的房间。洁净无尘净化工程技术及污染控制技术,它的概念内容主要包含:对加工或处理对象在加工处理过程中,由于污染物质的存在,影响对象的成功率。而对到达对象表面的污染物质进行无尘净化工程控制后,能提高对象的成功率,此有成效控制污染物质(亦包括加工或处理对象带有对人体有害的污染物质,需进行处理及隔离)的技术,称为洁净无尘净化工程技术或污染控制。
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洁净无尘净化工程技术与污染物质的控制方法,会因加工处理的对象而异。如精细机械加工,要求控制工件表面的粒子尺寸及浓度,一般东鑫净化工程会以控制空气中的粒子尺寸,及其浓度来作为解决方案;医药、卫生、实验室等类似场景的无尘净化工程洁净室解决方案,以控制空气中的粒子尺寸,及其浓度和微生物数来解决;而IC电子电路的生产,随着集成度的提高,线宽的减少,需要要求严格控制硅表面的粒子尺寸及其浓度、金属物质、吸附的某些分子以及硅片本身的氧化。因此除了控制洁净室空气中的粒子尺寸,及其浓度外,还须控制工艺介质如高纯水、高纯气体、特种气体及化学品(液)内的粒子尺寸及其浓度、金属物质及某些气体不纯物质。
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无尘净化工程洁净室技术涉及的内容范围是很广的,可以是洁净室技术的研究、开发;洁净室各系统(壁板系统、吊顶系统、地板系统、空气净化及空调系统),以及其它服务系统(如洁净工作服、洁净室专用抹布等消耗品)的研究、开发、设计、应用设计、安装、运行及管理等的介绍及经验总结;无尘净化工程洁净室技术正日益被相关行业越来越多的有识之士所重视和广泛研究。
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按照产品生产对“洁净生产环境”中的污染物的控制要求、控制方法以及控制设施的日益严格而不断发展。无尘净化工程洁净室技术厂房的设计与施工,是一门跨学业、跨部门、跨学科的综合性的新兴分支学科,它与许多行业、很多学科有着千丝万缕的联系,又有着自己独特的特点。在洁净厂房内生产的相关产品即象征着它的高品质与其高科技。
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