让工程低耗运行
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电子净化工程洁净室的施工内容是什么?
对微电子产品生产用洁净室来说,其洁净室的施工内容(不包括厂房主体结构施工)。
主要有:洁净室建筑装饰(含回风地板等)施工,净化空调系统及其风管、过滤器的施工安装,高纯水系统及其管线的安装,高纯气体的系统(含特种气体供应等)及其管线的安装,各种排风和排气系统及其处理设备的安装。
化学品供应系统及其管线的安装, 各种排风和排气系统的及其处理设备的安装,消防安全报警系统及其控制设备的安装,变配电、电气系统及其桥架、配管配线的安装等。
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